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中国电科38所超级针X射线成像系统发布
李想

  本报讯 10月31日,中国电子科技集团公司第三十八研究所(以下简称“中国电科38所”)在第92届中国(上海)电子展举行新产品发布会,正式发布一款由该所自主研制的新一代无损检测设备——超级针X射线成像系统。

  微焦点X射线成像系统是工业无损检测的常规必备设备,由于具有良好的空间分辨率(微米甚至亚微米级),能够观察物体内部的精细结构,此类设备广泛应用于集成电路、电子器件、印刷电路板、传感器等各种器材的无损检测。

  对此类X射线检测设备而言,X射线源就相当于“心脏”,其性能直接决定了设备的检测能力。超级针X射线成像系统采用超级针X射线源技术,具有完全自主知识产权,因而以“超级针”冠名。中国电科38所研发团队经过近十年技术攻关,成功将超级针射线源应用于微焦点X射线成像系统,开发了“源”创产品。超级针X射线成像系统分辨率小于1微米(相当于人类发丝的百分之一),成像清晰,性能稳定,它还具备较强的低能成像能力,使其在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显。目前,中国电科38所针对该产品,已申请30余项国内外发明专利,其中申请美、日、欧等国际专利12项。 (记者 李想)

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