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江淮晨报>> 2018年11月1日 >>返回首页
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米粒大芯片它能一眼看清
中国电科38所发布自主研制超级针X射线成像系统
于巧妮

  晨报讯 在某大型实验室,一位工程师正在小心翼翼地将一块米粒大小的芯片放入一台X射线成像系统,要为这块芯片做一次“体检”,屏幕上芯片内部极其精细复杂的结构清晰地展现在研发人员面前。10月31日,在第92届中国(上海)电子展上,中国电子科技集团公司第三十八研究所(中国电科38所)正式发布了这款自主研制的超级针X射线成像系统。

  近年来,我国集成电路产业快速发展,对封装检测高端设备的需求日益凸显。“更精细的封装尺度要求设备分辨率提升至亚微米级,而目前国际上可生产的厂商屈指可数;此外,制造过程中越来越多地使用硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料,对设备检测范围提出了更高要求。”中国电科38所相关负责人介绍,行业需要更高分辨率、更高对比度、更大检测范围的X射线检测设备,以解决当前看不清、看不见等问题。而超级针X射线成像系统的首次亮相,将有望改变这一现状。

  “我们采用的超级针X射线源技术,经过了近十年的技术攻关,具有完全自主知识产权。”中国电科38所相关负责人说,超级针X射线成像系统中,X射线源是设备的核心部件,其性能直接决定了设备的检测能力。“设备的基本工作原理,是利用射线穿过物体过程中吸收和散射衰减性质,在图像增强器上形成被扫描物体的透视图像。”

  超级针X射线成像系统分辨率小于1微米,相当于人类发丝的百分之一。

  它还具备较强的低能成像能力,使其在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显。目前,中国电科38所针对该产品,已申请30余项国内外发明专利,其中申请美、日、欧等国际专利12项。中国电科38所相关负责人表示,超级针X射线源技术,未来有望应用于集成电路、军工航天、汽车电子、医疗诊断、文物保护等不同应用领域。

  晨报记者 于巧妮 通讯员 骆先洋

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